Mô phỏng đặc trưng dòng điện - Điện thế và quy trình chế tạo transistor đơn điện tử (SET)
Tính toán và mô phỏng SET là bước đầu để xác định các thông số cần thiết cho một cấu
trúc SET và cũng là bước quan trọng để phục vụ cho quá trình chế tạo. Cấu trúc SET phải
đáp ứng được các yêu cầu về dòng điện và điện thế phù hợp. Điều đó cho thấy rằng, việc mô
phỏng cần phải được đầu tư đúng mức, để thuận lợi hơn trong quá trình chế tạo, tiết kiệm
được nguyên vật liệu, để có thể sản xuất những sản phẩm có giá trị thực tiễn cao, sản xuất
sản phẩm thương mại có giá trị. Trong bài báo này, tác giả đã sử dụng hàm Green không cân
bằng để tính toán hàm truyền, mô phỏng đặc trưng dòng - thế của SET, chương trình mô
phỏng được viết sử dụng GUI trong Matlab và dùng phần mềm Intellisuite để thiết kế một quy
trình chế tạo SET.
Trang 1
Trang 2
Trang 3
Trang 4
Trang 5
Trang 6
Trang 7
Trang 8
Trang 9
Trang 10
Tóm tắt nội dung tài liệu: Mô phỏng đặc trưng dòng điện - Điện thế và quy trình chế tạo transistor đơn điện tử (SET)
hình 2). Hình 2. Mô hình SET với chấm lượng tử nhiều mức năng lượng Hàm phân bố ứng với mức Fermi được xây dựng tại những tiếp xúc cực nguồn và cực máng: 1TkμEexp 1 μEfEf B1 101 (1) 1TkμEexp 1 μEfEf B2 202 (2) bởi điện thế áp V: µ1 - µ2 = qV. Trong đó, E - năng lượng, kB - hằng số Boltzmann và T - nhiệt độ. Hàm ma trận mật độ điện tử được cho bởi: dEEfEAEfEA 2π 1 ρ 2211 (3) Dòng điện IDS chạy trong mạch ngoài được xác định: dEEfEfET h q I 21D (4) Phương trình (4) là phương trình Landauer. Hàm số truyền T(E) được tính toán từ phương pháp NEGF: ]GGΓΓTrace[]GGΓΓTrace[T(E) 1221 (5) Trong đó: 21 21 n 22 11 1,21,21,2 1 21 AAGGiA EfAEfAG GGΓEA GGΓEA ]Σi[ΣΓ ]ΣΣHEI[G I - ma trận đơn vị, H - ma trận toán tử Hamilton, 1 và 2 - ma trận self-energy, 1 và 2 - ma trận mở rộng là phần ảo của ma trận self-energy, A1 và A2 - hàm phổ thành phần, A -hàm phổ là phần ảo của hàm Green G cho chấm lượng tử. 2.3. Mô phỏng đặc tuyến I -Vcủa SET 2.3.1 Đặc trưng ID = f (VDS ) Hình 3. Đặc trưng ID - VDS của SET với các thông số đầu vào là vật liệu SiO2; CD = CS = 0.1 aF; RD = RS = 1 M; L = 10 nm; W = 10 nm; tox = 0.6 nm; T = 300 K; VGS thay đổi. Tại gốc tọa độ, khi chưa cấp điện áp vào cực D so với cực S (VDS = 0) thì mức năng lượng Fermi cực S và cực D bằng nhau (µ = µ1 = µ2), bên cạnh đó điện áp cổng (6) Tạp Chí Khoa Học Giáo Dục Kỹ Thuật Số 39 (12/2016) Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật TP. Hồ Chí Minh 15 VGS = 0. Do đó, không có dòng ID chạy qua kênh dẫn (ID = 0). Khi có một điện áp đặt vào cực D so với cực S (VDS ≠ 0) sẽ tạo nên sự chênh lệch mức năng lượng Fermi cực D và cực S là µ1 - µ2 = eVDS. Khi điện thế cổng VGS đặt vào cực G có các giá trị 0 mV, 100 mV và 200 mV thì có kết quả như hình 3. Vì điện thế VGS làm dịch chuyển mức năng lượng của đảo lên và xuống đến khi mức năng lượng nằm vào khoảng giữa của sự chênh lệch mức năng lượng Fermi cực S và cực D. Khi đó sẽ có dòng điện chạy từ tiếp xúc cực S xuyên qua kênh dẫn đến tiếp xúc cực D và tạo ra dòng điện ID (ID ≠ 0). Qua kết quả ở hình 3 ta thấy độ rộng của vùng khóa Coluomb phụ thuộc vào điện thế cổng VGS, khi thế cổng VGS càng tăng thì độ rộng của vùng khóa Coulomb càng giảm và bằng không khi VGS = e/2CG. Trên hình 3 VGS=200m V thì vùng khoá Coulomb bằng không. Tiếp theo, khi điện thế VDS tiếp tục tăng sẽ làm mức năng lượng Fermi cực máng µ2 thấp, nên dòng điện ID tăng chậm. Nếu tiếp tục tăng điện thế VDS lên cao nữa sẽ làm cho dòng ID tăng chậm và gần như là bão hòa. Kết quả của Nicholas Allec, Robert Knobel, Lisang [10] Hình 4. Đặc trưng ID - VDS của SET với các thông số đầu vào là CG = 3 aF; CD = CS = 1 aF; RD = RS = 1 M; T = 5 K [10] Qua kết quả ở hình 4 ta thấy khi điện áp VGS tăng thì vùng khóa Coulomb giảm, tiếp tục tăng điện áp VGS lên thì vùng khóa Coulomb bằng không. Kết quả này tương tự kết quả mô phỏng trên. 2.3.2 Đặc trưng ID = f (VGS ) Hình 5. Đặc trưng ID - VGS của SET với các thông số đầu vào là CD = CS = CG =1 aF; RS = RD = 1 M; VGS =400 mV; T = 300 K; VDS thay đổi. Qua kết quả ta thấy khi VDS thay đổi sẽ làm ảnh hưởng đến đặc trưng ID - VGS. Cụ thể, khi VDS càng tăng thì dòng ID càng tăng và ngược lại. Kết quả của mô hình ME và Monte Carlo [3] Trong hình 6 biểu diễn đặc trưng ID – VGS phụ thuộc vào thế VDS. Qua kết quả ta thấy, khi VDS càng lớn thì ID càng lớn và ngược lại. Đồng dạng kết quả hình 5 khi VDS càng tăng thì dòng ID càng tăng và ngược lại. Hình 6. Đặc trưng ID - VGS của mô hình mô hình đối xứng CG = 0.2 aF; CS = CD = 0.1 aF; RS = RD = 1 M;bT = 300 K [3]. 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 0.4 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Id (n A ) Id - Vgs Characteristics Vgs (V) Vd=50mV Vd=100mV Vd=200mV 16 Tạp Chí Khoa Học Giáo Dục Kỹ Thuật Số 39 (12/2016) Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật TP. Hồ Chí Minh Ở hình 5, xét VDS =50mV ta tính được các giá trị của điện áp cực cổng tại các đỉnh thứ nhất và thứ nhì là e/2CG (80mV) và 3e/2CG (240 mV) tương ứng. Hai đỉnh dòng cách nhau khoảng e/CG (160mV). Ở hình 6, xét VDS =50 mV ta tính được các giá trị của điện áp cực cổng tại các đỉnh thứ nhất và thứ nhì là e/2CG (400 mV) và 3e/2CG (1200 mV) tương ứng. Hai đỉnh dòng cách nhau khoảng e/CG (800 mV). Dòng ID = 4.2 nA So sánh hai kết quả trên ta thấy hoàn toàn phù hợp với lý thuyết dao động Coulomb của SET. Đặc trưng ID - VGS của SET khi thay đổi các thông số được chọn trong phạm vi: Phạm vi độ dày của lớp điện môi cách ly cực cổng G với kênh dẫn tox từ 0.6nm đến 1nm Phạm vi độ rộng của kênh dẫn 10nm đến 30nm Phạm vi độ dài kênh dẫn 10nm đến 20nm Điện trở cực máng và cực nguồn 1M đến 10M Phạm vi nhiệt độ 300 K đến 400 K Hình 7. Đặc trưng ID - VGS của SET; bề dày lớp cách điện cực cổng thay đổi . Hình 8. Đặc trưng ID - VGS của SET; bề rộng của chấm thay đổi. . Hình 9. Đặc trưng ID - VGS của SET; bề dài của chấm thay đổi. Hình 10. Đặc trưng ID - VGS của SET; nhiệt độ T thay đổi 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 0.4 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 Id ( n A ) Id - Vgs Characteristics Vgs (V) tox = 0.5nm tox = 0.7nm tox = 1.0nm 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 0.4 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 Id ( n A ) Id - Vgs Characteristics Vgs (V) W = 10nm W = 20nm W = 30nm 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 0.4 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 Id ( n A ) Id - Vgs Characteristics Vgs (V) L = 10nm L = 15nm L = 20nm 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1 0.12 X: 0.204 Y: 0.08171 Id ( n A ) Id - Vgs Characteristics Vgs (V) 400K 300K Tạp Chí Khoa Học Giáo Dục Kỹ Thuật Số 39 (12/2016) Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật TP. Hồ Chí Minh 17 Hình 11. Đặc trưng ID - VGS của SET đối xứng và bất đối xứng Qua kết quả ở hình 7 khi giảm độ dày lớp điện môi cách ly cực cổng với kênh dẫn hay khi tăng kích thước độ rộng ở hình 8 và độ dài ở hình 9 của kênh lên đặc trưng dòng điện – điện thế của SET. Các thông số này ảnh hưởng đến tụ cực cổng, tụ này càng lớn thì dòng qua chấm lượng tử càng giảm.. Qua kết quả ở hình 10 ảnh hưởng của nhiệt độ lên đặc trưng dòng điện – điện thế của SET, khi nhiệt độ tăng thì độ rộng vùng khóa Coulomb giảm, thế ngưỡng giảm, biên độ dòng đỉnh giảm. Qua kết quả ở hình 11 ảnh hưởng của hiện tượng đối xứng và bất đối xứng của các điện trở cực nguồn và cực máng lên đặc trưng dòng – thế của SET khi tăng giá trị điện trở cực nguồn thì dòng qua chấm lượng tử giảm. Từ đây ta chọn kích thước tối ưu cho SET kích thước chấm lượng tử là 10nm. 3. QUY TRÌNH CHẾ TẠO SET 3.1. Các bước hình thành cấu trúc các lớp mẫu SET ( hình 21) Bước 1 Hình 12. Làm sạch phiến Si Làm sạch phiến silic trên chất cách điện (SOI – Silicon On Insulator) với chất acetone và hydrofluoric để loại bỏ tạp chất và SiO2 tự nhiên từ bề mặt. Sau đó, rửa phiến với nước khử ôxy hóa (DI - Deionized) và làm khô. Trong đó, ôxít silic ngầm (BOX – Buried silicon Oxide) được phát triển trên nền silic. Bước 2 Hình 13. Phủ lớp SiO2 Phủ SiO2 mỏng 30 nm và amorphous silicon 40 nm được lắng đọng liên tục trên bề mặt phiến dùng kỹ thuật lắng đọng bay hơi hóa học gia tăng vật lý. Bước 3 Hình 14. Phủ lớp cản quang Một lớp cản quang thủy tinh hữu cơ (PMMA – Polymethy methacrylate) mỏng 50 nm được phủ trên lớp amorphous silicon để tạo khuôn mẫu. 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 Id ( n A ) Id - Vgs Characteristics Vgs (V) Rs>Rd Rs=Rd Si BOX Nên - Si Si Nên - Si Si BOX SiO2 Amorphous silicon Si SiO2 Nên - Si PMMA Si BOX Si Amorphous silicon Si SiO2 Nên - Si 18 Tạp Chí Khoa Học Giáo Dục Kỹ Thuật Số 39 (12/2016) Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật TP. Hồ Chí Minh Bước 4 Hình 15. Mặt nạ thứ nhất Một mặt nạ thứ nhất được in trên lớp PMMA dùng quy trình quang khắc chùm điện tử. Sau khi phơi bày ra, phiến được sấy khô ở 950C trước khi nhúng vào dung dịch tráng rửa. Cuối dùng, lớp ôxít dưới PMMA bị ăn mòn dùng kỹ thuật ăn mòn plasma mật độ cao. Lớp ăn mòn trên ôxít sẽ trở thành nguồn, máng và dây nanô của SET. Bước 5 Hình 16. Lắng động lớp Poly - silicon Một lớp Poly - silicon mỏng 60 nm được lắng đọng trên ôxít cổng. Sau đó, mặt nạ thứ hai được in trên lớp ôxít cổng dùng quy trình quang khắc chùm điện tử. Bước 6 Hình 17. Cổng Poly - silicon được hình thành Sau khi vùng không mặt nạ bị ăn mòn, cổng Poly - silicon được hình thành trên lớp ôxít cổng. Bước 7 Hình 18. Quá trình quang khắc Bước 8 Kế tiếp bước quang khắc khác được sử dụng để khuôn mẫu lớp ôxít tạo thành các lỗ tiếp xúc, thông qua đó đệm đầu dò nhôm tiếp xúc với silic. Hình 19. Hình thành tiếp xúc 2 điện cực Si BOX Si Si SiO2 Nên - Si Nguôn Ôxit công Mang Poly - silicon PMMA Si BOX Si Si SiO2 Nên - Si Công Poly - silicon Si BOX Si Si SiO2 Nên - Si Si BOX Si Si SiO2 Nên - Si S B0X Si D Công Poly – silicon pha Phôtpho Si SiO2 Nền - Si Tạp Chí Khoa Học Giáo Dục Kỹ Thuật Số 39 (12/2016) Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật TP. Hồ Chí Minh 19 Bước 9 Một lần nữa tiếp xúc được mở ra, một lớp nhôm 200 nm được bay hơi trên toàn bề mặt của phiến dùng môđun lắng đọng bay hơi vật lý (PVD - Physical Vapor Deposition) nhôm. Hình 20. Quá trình quang khắc Bước 10 Bước quang khắc cuối cùng được dùng để tạo khuôn mẫu đệm đầu dò và tiếp xúc. Hình 21. Cấu trúc SET 3.2. Mô phỏng quy trình chế tạo SET Trong phần này tác giả mô tả các bước và chế tạo SET bằng phần mềm Intellsuite. Hình 22. Quy trình chế tạo SET Bước 1: Tạo đế Si hướng 100, bề dày 70.000nm, đường kính 100nm, điện trở 0.5 ohm-cm, phủ lớp Si02 bằng phương pháp PECVD ( Physical Enhanced Chemical Vapor Deposition) Hình 23. Tạo đế Si và quá trình phủ các lớp Bước 2: Phủ lớp cản quang dày 300nm, quang khắc bằng phương pháp X-ray dùng mặt nạ (mask 1), bề dày 100.000nm. Ăn mòn lớp cản quang, thời gian ăn mòn 5 phút, nhiệt độ ăn mòn 200C. Hình 24. Phủ lớp cản quang, quang khắc, ăn mòn. Bước 3: Ăn mòn lớp Amorphous Silicon bằng phương pháp Dry –SF6 plasma, thời gian ăn mòn 15 phút, ăn mòn hết lớp cản quang còn lại. Hình 25 Quá trình ăn mòn hết lớp cản quang Si Si BOX Si Al S Nên - Si Al D SiO2 Si i BOX Si Al S G Nên - Si Al D SiO2 20 Tạp Chí Khoa Học Giáo Dục Kỹ Thuật Số 39 (12/2016) Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật TP. Hồ Chí Minh Bước 4: Phủ lớp Poly Silicon bằng phương pháp bằng phương pháp PECVD, bề dày 100nm, phủ lớp cản quang. Quang khắc bằng phương pháp X-ray dùng mask2, ăn mòn chất cản quang. Hình 26. Phủ lớp Poly Silicon, lớp cản quang, quá trình quang khắc. Bước 5: Ăn mòn lớp Poly Silicon bằng phương pháp Dry –SF6 plasma, ăn mòn hết chất cản quang còn lại. Hình 27. Ăn mòn lớp Poly Silicon Bước 6: Tiếp tục phủ lớp cản quang, quang khắc dùng lại mask 1, ăn mòn chất cản quang, ăn mòn lớp SiO2 bằng phương pháp ăn mòn ướt, ăn mòn hết chất cản quang còn lại. Phủ Al bằng phương pháp Sputter magnetron bề dày 100nm Hình 28. Phủ lớp cản quang, quang khắc mask 1, ăn mòn. Bước 7: Phủ lớp cản quang, quang khắc dùng mask3, ăn mòn chất cản quang. Hình 29. Phủ lớp cản quang, quang khắc mask 3, ăn mòn. Bước 8: Ăn mòn lớp Al bằng phương pháp ăn mòn ướt, ăn mòn chất cản quang màu vàng còn lại. Hình 30. Cấu trúc SET được hình thành. 4. KẾT LUẬN Dựa vào mô hình SET tác giả tính hàm phân bố, mật độ trạng thái, mật độ điện tử, dòng điện nguồn-máng của SET dựa vào phương pháp hàm Green không cân bằng, những kết quả mô phỏng đặc trưng dòng-thế được so sánh với các kết quả mô phỏng đã được công bố [10,3]. Khảo sát sự ảnh hưởng của bề dày của lớp oxide cách điện, chiều dài đảo, chiều rộng đảo, nhiệt độ T, sự đối xứng và bất đối xứng của các điện trở cực nguồn và cực máng lên đặc trưng dòng – thế của SET. Bằng cách sử dụng phần mềm Intellisuite, tác giả đã đưa ra các bước để tạo ra các điện cực SET và mô phỏng các bước trong quy trình chế tạo linh kiện SET trước khi đưa ra sản xuất thử nghiệm và hàng loạt. Tiến trình chế tạo và các tính chất của linh kiện được quan Tạp Chí Khoa Học Giáo Dục Kỹ Thuật Số 39 (12/2016) Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật TP. Hồ Chí Minh 21 sát rõ ràng trong Intellisuite, nhờ vậy mà đảm bảo được tính thiết kế của linh kiện do đó giá thành sản xuất được giảm đi đáng kể và giảm bớt sai hỏng trong sản xuất. TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] Intellisuite user guide, version 8.0/PC, 2005. [2] R. H. Chen, A. N. Karotkov, and K. K. Likharev, A new logic family based on single electron transistors, Proceedings of Device Res. Conf., p. 44-45, 1995. [3] C. Wasshuber, SIMON- A simulation for single Electron Tunnel devices and circuits, IEEE Trans. on CAD.,Vol.16, N09, pp. 937-944, 1997. [4] K. Uchida, K. Matsuzawa, J. Koga, R. Ohba, S. Takagi, and A. Toriumi, Analytical Single Electron Transistor (SET) model design and analysis of realistic SET circuits, Jnp. J. Appl. Phys., vol. 39, pp. 2321-2324, 2000. [5] Y. S. Yu, J. H. Oh, S. W. Hawng, and D. Ahn, Implementation of single electron circuit simulation by SPICE: KOSEC-SPICE, Proceedings of Asia Pacific Workshop on fundamental application of advanced semiconductor device, p. 85-90, 2000. [6] S. Mahapatra, A.M. Ionescu, and K. Banerjee (2002), A quasi-analytical SET model for few electron circuit simulation, IEEE Trans. Electron Devices, vol. 23, no. 7, 2002. [7] C. Wasshuber , Computational Electronics, New York: Springer-Verlag, 2002. [8] K. K. Likharev, SETTRAN - A simulator for single lectron transistor, Available: [9] Supriyo Datta, Quantum Transport: Atom to Transistor, Cambridge University Press, 2005. [10] Nicholas Allec, Robert Knobel, Lisang , Adaptive Simulation of Single – Electron Devices , 978-3-9810801-3-1/ Date 082008EDAA. Tác giả chịu trách nhiệm bài viết Lê Hoàng Minh Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật TP.HCM Email: minhlh@hcmute.edu.vn
File đính kèm:
- mo_phong_dac_trung_dong_dien_dien_the_va_quy_trinh_che_tao_t.pdf